历史来源出自匈奴王族姓氏，以最高首领冠称为氏。历史上匈奴族的最高首领称为“撑犁孤涂单于”（字意为“天子广大”，意为称颂首领的权力是神授的，他们应拥有天子的广大辽阔的尊敬及势力），简称为单于，他们的后代中有以“单于”为姓氏的，称单于氏。
家族名人历史上以单于为姓的名士并不多见，主要原因，可能是受大汉族主义思想的影响，认为用外来种族的姓氏在社会上没有地位和常驻歧视。就连《中国名人大辞典》也没有收录到一个此姓氏的历史名人。
迁徙分布（缺）单于姓在大陆和台湾都没有列入百家姓前一百位。单于氏这一姓氏出现于后周时期，得姓至今有1000多年的历史。在汉朝，匈奴部落频繁与汉朝进行经济，文化，外交上的往来，于此，单于作为姓氏的一种也传入了中原。还有同是汉朝时，左贤王降汉时仍以汉为姓。后来大部分的单于氏族人也简化为单氏，同时此姓的发音也随之发生变化，由单于（Chányú音潺渔），变为单（Shàn音善）。据考证，单于氏也并没有绝迹，现今主要分布在山东的历城、益都，湖北省等一带，自古以来就有不少姓单于的人家，这也可能是宋本《百家姓》上出现单于一姓的自然原因吧。单于姓望族居千乘郡（今山东省高苑县北一带）。
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